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MEMS系统中微平板结构声振耦合性能研究
MEMS 微平板 气膜力 传声损失
2019/1/2
微机电系统(micro-electro-mechanical system，MEMS) 是指内部微结构尺寸在微米甚至纳米量级的微电子机械装置，是一个独立的智能系统. 长宽厚均处于微米量级的微平板为MEMS 中的典型结构，其声学和力学特性直接影响MEMS 的性能. 针对同时受声压激励和气膜力(通过考虑相同尺寸微平板振动引入) 作用的四边简支微平板结构，应用Cosserat 理论和Hamilton 原...